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            協和氣體18年專注工業氣體研發生產

            高純氦氣-氮氣-氬氣-氧氣-乙炔-液氧-液氮-特種氣體

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            光刻膠+特種氣體+大基金介入,不騰飛更待何時?


            南大光電(300346.SZ)此次定增,將公司推入了半導體的聚光燈下。

            公司此次募集資金6億元,主要用于建設光刻膠產業化項目和擴建年產2000噸三氟化氮生產裝置項目,其中三氟化氮裝置使用募集資金3億元,光刻膠項目使用募集資金1.5億元。而光刻膠項目的累計投資額是6.6億元,其中光刻膠高純配套材料產業化投資4.1億元,ArF光刻膠產品產業化需要投資2.5億元。資金差額的來源,應該是公司使用自有資金已經先行投資完成了。


            光刻膠項目的實施主體是寧波南大光電材料股份有限公司,三氟化氮項目的實施主體是山東飛源氣體有限公司。南大光電都持有這兩家公司58%的股權。

            01 光刻膠

            深紫外光刻膠已經列入科技部“十三五”先進制造技術領域科技創新專項規劃,屬于重點攻克的重大科技創新項目。與深紫外光刻膠并列,還有300mm硅片、拋光材料、超高純電子氣體、濺射靶材等,它們是我國面向45-28-14nm集成電路工藝的重點攻關子項目。

            光刻膠在半導體產業中處于關鍵支撐地位。光刻膠及配套試劑在晶圓制造材料中合計占比約12%,是第四大晶圓制造材料,技術開發難度大。國內高端市場長期為國外巨頭所壟斷。

            全球行業前四大光刻膠廠商合成橡膠、信越化學、東京應化以及住友化學,均為日系廠商,全品類半導體光刻膠中日本廠商占據了70%的市場份額。分品類來看,日本廠商在 ArF、KrF、g 線/i 線膠市場中市占率分別為 93%、80%、61%,居于絕對壟斷的地位。

            國內光刻膠由于起步晚,技術水平相對落后,目前主要集中在PCB光刻膠、LCD光刻膠等中低端產品,高端光刻膠幾乎處于空白狀態,ArF浸沒式光刻膠屬于光刻膠皇冠上的明珠,它是先進制程晶圓制造的關鍵材料,當前受制于日資公司的限制和技術封鎖。

            南大光電自2017年起承擔國家專項,攻克光刻機關鍵技術,率先制備出國內首款ArF光刻膠產品。

            項目在寧波完全達產后,將建成年產25噸193nm(ArF干式和浸沒式)光刻膠產品的生產規模,其中,年產5噸ArF干式光刻膠的生產線,年產20噸ArF浸沒式光刻膠的生產線,以及年產45噸的光刻膠配套高純試劑生產線。屆時,產品性能滿足90nm-14nm晶圓制造的要求,實現零的突破和完全國產化。

            02 特種氣體

            與高端光刻膠一樣,電子特種氣體也存在外資壟斷的問題。美國空氣化工、普萊克斯、法液空、大陽日酸和德國林德,占據了全球電子特種氣體94%的市場份額,也占據了國內85%的市場份額。

            電子氣體在電子產品制程工藝中電子特種氣體是半導體制造的關鍵原料之一,它廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、 摻雜等工藝中,被稱為半導體的“糧食”。

            在光刻膠國家專項之前,南大光電就已經接受了另一項國家專項——高純電子氣體(砷 烷、磷烷)研發與產業化項目,并于2016年起形成高純特種電子氣體砷烷、 磷烷產業化能力,純度達到 6N 級別,在半導體產業的關鍵材料領域已經實現 了國產化。

            之后南大光電通過收購山東飛源氣體58%的股份,進入含氟電子特種氣體領域。含氟電子特種氣體是電子氣體的重要分支,在半導體和顯示面板制造過程中,它是重要的清洗劑和刻蝕劑。

            飛源氣體是南大光電含氟氣體的主導者

            全球三氟化氮生產廠家主要集中在中、韓、美、日之間,中國企業產能占比約為 1/3。南大光電此次投資3億元,擴建年產2000噸的三氟化氮生產線之后,將進一步提升中國廠商供應能力,擴大進口替代比重。

            03 結論

            光刻膠和電子特種氣體,一直屬于半導體領域的“卡脖子”項目。南大光電通過此次定增,提高特種氣體的產品供給能力,突破高端光刻膠長期被日資壟斷的格局,大幅推進進口替代的進程。

            2021年7月27日,國家大基金二期投資18330萬元,認購寧波南大光電新材料股份有限公司6733.19萬股,占比18.33%。在光刻膠項目建設之前,國家大基金提前進入。

            這也是南大光電股價能夠兩周翻倍的真正原因。


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